特許
J-GLOBAL ID:200903046854601984
回折格子、回折光学素子及びそれを用いた光学系
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-292351
公開番号(公開出願番号):特開2003-098329
出願日: 2001年09月25日
公開日(公表日): 2003年04月03日
要約:
【要約】【課題】 高画角、低コスト(簡易な構成)そして環境変動による性能悪化を改善することができる回折格子、回折光学素子及びそれを用いた光学系を得ること。【解決手段】 基板に紫外線透過樹脂を用い、該基板面上に紫外線硬化樹脂より成る格子部を1つ以上設けたこと。
請求項(抜粋):
基板に紫外線透過樹脂を用い、該基板面上に紫外線硬化樹脂より成る格子部を1つ以上設けたことを特徴とする回折格子。
IPC (3件):
G02B 5/18
, G02B 13/00
, H01L 21/027
FI (3件):
G02B 5/18
, G02B 13/00
, H01L 21/30 515 D
Fターム (30件):
2H049AA40
, 2H049AA43
, 2H049AA51
, 2H049AA55
, 2H049AA60
, 2H049AA63
, 2H049AA65
, 2H087KA02
, 2H087KA06
, 2H087KA08
, 2H087KA09
, 2H087KA15
, 2H087KA21
, 2H087KA23
, 2H087KA29
, 2H087LA01
, 2H087PA04
, 2H087PA19
, 2H087PB06
, 2H087QA02
, 2H087QA12
, 2H087QA21
, 2H087QA26
, 2H087QA32
, 2H087QA41
, 2H087QA46
, 2H087RA32
, 2H087RA46
, 5F046CB01
, 5F046CB25
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