特許
J-GLOBAL ID:200903046858412957

窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 成示 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-058925
公開番号(公開出願番号):特開平7-267739
出願日: 1994年03月29日
公開日(公表日): 1995年10月17日
要約:
【要約】【目的】 反り及び寸法バラツキが少ない焼成基板が得られる窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法を提供する。【構成】 窒化アルミニウム粉末、焼結助剤、分散剤、バインダー、潤滑剤及び有機溶剤を混合してスラリーとした後、このスラリーを噴霧乾燥して顆粒状粉末とし、次いでこの顆粒状粉末をプレス成型してシート化する窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法であって、窒化アルミニウム粉末100重量部に対してバインダーを2〜6重量部含有し、潤滑剤として酸化ポリエチレンワックスを2〜6重量部含有することを特徴としている。
請求項(抜粋):
窒化アルミニウム粉末、焼結助剤、分散剤、バインダー、潤滑剤及び有機溶剤を混合してスラリーとした後、このスラリーを噴霧乾燥して顆粒状粉末とし、次いでこの顆粒状粉末をプレス成型してシート化する窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法であって、窒化アルミニウム粉末100重量部に対してバインダーを2〜6重量部含有し、潤滑剤として酸化ポリエチレンワックスを2〜6重量部含有することを特徴とする窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法。
IPC (4件):
C04B 35/622 ,  B28B 3/02 ,  C04B 35/632 ,  C04B 35/581
FI (3件):
C04B 35/00 G ,  C04B 35/00 108 ,  C04B 35/58 104 Q

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