静電吸着電極のクリーニング方法及びその検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-030862
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233487
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】プラズマ等により処理されるウエハを静電吸着力により支持する静電吸着電極のプラズマクリーニングの終了を容易に検出する。【解決手段】プラズマ6,静電吸着電極13を有した電極10,高周波電源14および接地部を介して形成される高周波印加回路と並列にVpp検出回路16を設け、静電吸着電極13のプラズマクリーニング中のVppを逐次検出し、検出されたVppと予め設定した設定値が一致した時点でプラズマクリーニングを終了する。

請求項（抜粋）：

プラズマにより処理されるウエハを絶縁膜との間に発生させた静電吸着力により支持する静電吸着電極において、プラズマ,静電吸着電極,高周波電源および接地部を介して形成される高周波印加回路のVppを検出し、プラズマクリーニング中の前記Vppの変化を検出して予め定めた設定値と一致した時点でプラズマクリーニングを終了することを特徴とする静電吸着電極のクリーニング方法。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , B23Q 3/15 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/302 E , B23Q 3/15 D , H01L 21/68 R

前のページに戻る