特許
J-GLOBAL ID:200903046869334117

感光性樹脂組成物およびその用途

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-029021
公開番号(公開出願番号):特開2002-229191
出願日: 2001年02月06日
公開日(公表日): 2002年08月14日
要約:
【要約】【課題】 解像度、レジスト剥離性、現像密着力に優れ、PDP等のガラス基材上に電極を形成する等のパターン形成用途に有用な感光性樹脂組成物及びそれを用いたフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 酸価50〜250mgKOH/gのベースポリマー(a)、エチレン性不飽和化合物(b)、光重合開始剤(c)及びカルボン酸変性ポリカプロラクトンジオール化合物(d)よりなる感光性樹脂組成物及びそれを用いたフォトレジストフィルム。
請求項(抜粋):
酸価50〜250mgKOH/gのベースポリマー(a)、エチレン性不飽和化合物(b)、光重合開始剤(c)及びカルボン酸変性ポリカプロラクトンジオール化合物(d)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (10件):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/08 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032
FI (10件):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/48 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/08 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032
Fターム (71件):
2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AD01 ,  2H025CA01 ,  2H025CA28 ,  2H025CA44 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB20 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J011CA01 ,  4J011CA05 ,  4J011PA25 ,  4J011PA69 ,  4J011PA88 ,  4J011PB25 ,  4J011PB30 ,  4J011PB39 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA18 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA32 ,  4J011QA34 ,  4J011QA35 ,  4J011QA37 ,  4J011QA42 ,  4J011QA46 ,  4J011SA02 ,  4J011SA06 ,  4J011SA07 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA35 ,  4J011SA42 ,  4J011SA61 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA75 ,  4J011SA77 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA53 ,  4J026AC23 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA36 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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