特許
J-GLOBAL ID：200903046878470155
走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-141824
公開番号（公開出願番号）：特開平8-007818
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の立体形状を容易に把握する。【構成】 半導体基板の上に形成されるコンタクトホールを真上方向(傾斜角θ=0)から徐々に傾斜角θを増しつつ撮像することによって得られた画像8〜画像11を、光磁気ディスクなどの記憶手段に保存する。画像8〜画像11にもとづいて制御部で画像処理が施され、その結果、三次元立体画像12がディスプレーに映し出される。三次元立体画像では、陰線も映し出され、また、視角を任意に変えて映し出すことができる。このため、コンタクトホールの三次元立体形状の把握が容易である。【効果】 試料表面の立体形状の把握が容易である。
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡において、記憶媒体と、画像表示手段と、画像処理手段とを備え、前記画像処理手段が、撮像された観測対象物の複数の画像を前記記憶媒体に保持可能であるとともに、外部より与えられる指示に応じて、保持された前記複数の画像の中から選択的に前記画像表示手段に表示可能であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22 502
, G06T 1/00
, H04N 7/18
