特許
J-GLOBAL ID：200903046881329315
電界放出型冷陰極素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三谷 惠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327026
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143603
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 ゲート及びアノードの損傷を伴うことなく高電圧化が図れ信頼性に優れた電界放出型冷陰極素子を提供することにある。【解決手段】 コンディショニング処理の際は、ゲート7に設けられたゲート空孔7aとコンディショニング電極15に設けられた電極空孔15aとが重ならない位置とし、コンディショニング処理の完了後はゲート空孔7aと電極空孔15aとが一致する位置に、電極操作棒16によりコンディショニング電極15を移動させる。これにより、ゲート空孔7aを保護してコンディショニング処理がなされるので、ゲート空孔7aやエミッタ4の損傷を生ずることがない。
請求項（抜粋）：
真空容器中において電界放射を行なうエミッタを配列してなるエミッタアレイと、前記エミッタからの電界放射を制御するゲートと、前記エミッタからの電界放射電流が注入されるアノードとを備えた電界放出型冷陰極素子において、前記ゲートに設けられたゲート空孔と略同位置に電極空孔を有しコンディショニング処理の際に前記アノードとの間で放電を発生させるための平板状のコンディショニング電極と、コンディショニング処理の際は前記ゲート空孔と前記電極空孔とが重ならない位置とし前記コンディショニング処理の完了後は前記ゲート空孔と前記電極空孔とが一致する位置に前記コンディショニング電極を移動させる電極操作棒とを備えたことを特徴とする電界放出型冷陰極素子。
IPC (3件)：
H01J 1/304
, H01J 1/00
, H01J 9/44
H01J 1/00
, H01J 9/44 A
, H01J 1/30 F
