特許
J-GLOBAL ID：200903046883565652
X-Yステージ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牧野 剛博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165522
公開番号（公開出願番号）：特開2001-341037
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：
【要約】【課題】 高速且つ高精度に、X方向、Y方向及びθz方向に移動テーブルを位置決め制御する。【解決手段】 X-Y平面内で移動可能な移動テーブル2を備え、移動テーブル2上に設置される部材をX-Y平面内で位置決め可能なX-Yステージ装置15において、移動テーブル2に対して所定のZ方向の隙間を空けて固定ベース1を配置し、このZ方向の隙間に少なくとも3本のZ方向の支柱部材を配置する。固定ベース1及び移動テーブル2には、移動テーブル2をY方向に相対移動させることが可能なY方向駆動用リニアモータ3、5と、Y方向位置が互いに異なる少なくとも2つのX方向駆動用リニアモータ7、9とを配置し、X方向駆動用リニアモータ7、9によってX方向の相対移動量が互いに異になるように推進させ、移動テーブル2がZ方向を基軸として回転するようにした。
請求項（抜粋）：
X-Y平面内で移動可能な移動テーブルを備え、該移動テーブルに載置される部材をX-Y平面内で位置決め可能なX-Yステージ装置において、前記移動テーブルに対して所定のZ方向の隙間を空けて配置される固定ベースと、該固定ベース及び移動テーブルに固定支持されるようにして前記Z方向の隙間に配置され、自身が弾性変形することによって、該固定ベースに対して該移動テーブルがX-Y平面内で移動可能とされる少なくとも3本のZ方向の支柱部材と、前記固定ベース及び前記移動テーブルに配置され、該移動テーブルをY方向に相対移動させることが可能なY方向駆動用リニアモータと、Y方向位置が互いに異なるようにして、前記固定ベース及び移動テーブルに少なくとも2つ配置され、各々独立して該固定ベースに対して該移動テーブルをX方向に相対移動させることが可能な複数のX方向駆動用リニアモータと、を備え、前記少なくとも2つのX方向駆動用リニアモータによる前記移動テーブルのX方向相対移動量が互いに異になるように制御することで、該移動テーブルが、前記X-Y平面内でZ方向を基軸として回転可能となっていることを特徴とするX-Yステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G12B 5/00 T
, B23Q 1/14 Z
2F078CA08
, 2F078CB09
, 2F078CB12
, 2F078CC07
, 2F078CC11
, 2F078CC15
, 3C048BC02
, 3C048DD05
, 3C048DD12
, 3C048DD26
