特許

J-GLOBAL ID：200903046900239632

感光性樹脂組成物およびポジ型パターン形成方法

発明者： 大島 彩
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318725
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122993
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能なポジ型パターン形成能を有するポリイミド前駆体からなる感光性樹脂組成物と新規なポジ型パターン形成方法を提供する。【解決手段】 (A)エステル構造部にフェノール性水酸基を有するポリイミド前躯体、(B)トリエチレングリコールジビニルエーテルなどビニルオキシ基含有化合物、(C)紫外線等活性光線に対して分解して酸を発生する感光剤、(D)上記光酸発生剤の分解を促進するピレンなどの増感剤および(E)溶剤からなるポジ型感光性樹脂組成物であり、(A)(B)成分によりアルカリ水溶液に対する不溶化塗膜を形成し、活性紫外線で露光した後、加熱して(C)成分からの発生酸による露光分解部分のみをアルカリ水溶液で溶解してポジ型パターンを現像しイミド化熱処理をするポジ型パターン形成方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示されるポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の有機基であり、R2 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された2価の有機基であり、R3 ,R4 は、それぞれ1個以上のフェノール性水酸基で置換した芳香族基である。また、k、lは1〜3の整数、mは1以上の整数である)(B)次の一般式で示されるビニルオキシ基含有化合物、【化2】(但し、式中、R5 は、2価または3価の脂肪族基若しくは芳香族基、又は複数の芳香族環が単結合、-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -、-NH-若しくは-C(CF3 )2 -で結合された2価または3価の有機基である。また、i、nは1〜3の整数である)(C)紫外線等活性光線に対して分解して酸を発生する感光剤、(D)(C)の感光剤の分解を促進する増感剤および(E)溶剤からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F283/04 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/38 511 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F283/04 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/38 511 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (64件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025EA01 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA09 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J011PA97 ,  4J011PC02 ,  4J011QA01 ,  4J011QA11 ,  4J011QA21 ,  4J011QA36 ,  4J011QA38 ,  4J011QA40 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA64 ,  4J011SA72 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA86 ,  4J011SA87 ,  4J011UA01 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AB34 ,  4J026BA15 ,  4J026BA16 ,  4J026BA17 ,  4J026BB01 ,  4J026DA02 ,  4J026DA08 ,  4J026DB02 ,  4J026DB09 ,  4J026DB11 ,  4J026DB15 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA06 ,  4J026GA07 ,  4J026GA08