特許
J-GLOBAL ID：200903046906971238
合せずれ測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-286256
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129178
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】ずれの自動測定が可能で、誤差を生じにくく、信頼性の高い合せずれ測定方法を提供することにある。【構成】前工程で形成された基準パタ-ン11、12...と後工程で形成された被測定パタ-ン13〜18とを撮像素子により撮像し、被測定パタ-ン13〜18を基準パタ-ン11、12...と比較し、被測定パタ-ン13〜18形成の際のずれを測定する合せずれ測定方法において、各パタ-ンの各線幅を絶対量で2μm以上、撮像素子上で8画素以上とするとともに、各パタ-ンにおける各線間の距離を絶対量で2μm以上、撮像素子上で8画素以上とした。
請求項（抜粋）：
前工程で形成された基準パタ-ンと後工程で形成された被測定パタ-ンとを撮像素子により撮像し、上記被測定パタ-ンを上記基準パタ-ンと比較し、被測定パタ-ン形成の際のずれを測定する合せずれ測定方法において、上記各パタ-ンの各線幅を絶対量で2μm以上、上記撮像素子上で8画素以上とするとともに、上記各パタ-ンにおける各線間の距離を絶対量で2μm以上、上記撮像素子上で8画素以上としたことを特徴とする合せずれ測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 301 M
, H01L 21/30 311 M
