特許
J-GLOBAL ID:200903046912701528

位置検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 研一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-361615
公開番号(公開出願番号):特開2004-191267
出願日: 2002年12月13日
公開日(公表日): 2004年07月08日
要約:
【課題】強い振動や埃等の付着があっても、移動量を正確に検出する。【解決手段】スケール部材及びイメージ検出手段を相対移動させて移動体の移動位置を検出する。イメージ検出手段はスケール部材に向かって光を照射する光照射部材及びスケール部材からの光に検出する所定数の画素が移動体の移動方向に配列されてスケール部材のイメージデータを出力するイメージセンサからなる。スケール部材には所定の画素数からなる多数の絶対値目盛を、イメージセンサが常に少なくとも1個の絶対値目盛を検出可能な間隔をおいて設けると共に各絶対値目盛を識別するための絶対値識別部を設ける。イメージセンサにより検出された絶対値識別部から識別された絶対値目盛数に絶対値目盛の相互間隔を乗算した値に、イメージセンサの画素方向中心から絶対値目盛の中心に至る画素数に画素ピッチを乗算した値を加減算して移動体の移動位置を画素ピッチに一致する分解能で計測する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
相対移動するスケール部材及びイメージ検出手段により移動体の移動位置を検出する位置検出装置において、イメージ検出手段はスケール部材に向かって光を照射する光照射部材及びスケール部材からの光に検出する所定数の画素が移動体の移動方向に配列されてスケール部材のイメージデータを出力するイメージセンサからなり、スケール部材には所定の画素数からなる多数の絶対値目盛を、イメージセンサが少なくとも1個の絶対値目盛を常に検出可能な間隔をおいて設けると共に各絶対値目盛を識別するための絶対値識別部を設け、イメージセンサにより検出された絶対値識別部に基づいて識別された絶対値目盛数に絶対値目盛の相互間隔を乗算した値に、イメージセンサの画素方向中心から絶対値目盛の中心に至る画素数に画素ピッチを乗算した値を加減算して移動体の移動位置を画素ピッチに一致する画素分解能で計測する制御手段を有した位置検出装置。
IPC (1件):
G01D5/34
FI (1件):
G01D5/34 F
Fターム (10件):
2F103BA10 ,  2F103BA37 ,  2F103CA02 ,  2F103DA04 ,  2F103EA04 ,  2F103EB06 ,  2F103EB14 ,  2F103EB33 ,  2F103ED11 ,  2F103ED27

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