特許

J-GLOBAL ID：200903046916040771

波長変換光学系、レーザ装置、及びマスク欠陥検査装置

発明者： 河井 斉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-169384
公開番号（公開出願番号）：特開2005-351919
出願日： 2004年06月08日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】 帯域幅を有するレーザパルス深紫外光を発生できる波長変換光学系を提供する。【解決手段】 ダイクロイックミラー8を透過した2倍波は、基本波発生用波長変換素子16に集光される。すると、基本波発生用波長変換素子16からは2倍波と共に、光パラメトリック発振による基本波が発生する。この基本波の波長帯域幅は、レンズ1に入射するレーザ光の波長帯域幅に比して広くなっている。この基本波は、レンズ17を介してダイクロイックミラー14を透過し、ダイクロイックミラー14で反射された7倍波とカップリングされて8倍波発生用波長変換素子18に集光される。これにより、8倍波発生用波長変換素子18からは8倍波が発生するが、基本波発生用波長変換素子16から発生する基本波の波長帯域幅が広いため、この8倍波の波長帯域幅も広いものとなっている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

波長変換素子を用いて波長変換を行うことにより、基本波の高調波を発生させる波長変換光学系であって、2倍波を入射したときに前記基本波より波長帯域の広い基本波を発生させる基本波発生用波長変換素子を含むことを特徴とする波長変換光学系。

IPC (3件)：

G02F1/37 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G02F1/37 ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 502P

Fターム (11件)：

2H095BD11 ,  2H095BD13 ,  2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20 ,  2K002HA31

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 2001-353176号公報