特許
J-GLOBAL ID：200903046922816943
静電チャック装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180335
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347352
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 両面に接着剤の塗布された絶縁性フィルムを用いることにより、製造工程が簡単で特性を良好に維持できる静電チャック装置を提供する。【構成】 プラズマ処理容器22内に収容される静電チャック装置において、被処理体Wを載置する絶縁保持板56の下面に静電吸着用導電層58をスパッタリング等により形成し、これと下部電極44との間に、両面に接着剤52、52の塗布された絶縁性フィルム70を介在させて、全体を加熱圧着成形する。これにより、製造工程の簡略化を図ると共に絶縁保持板56と下部電極44との間の距離を短くする。
請求項（抜粋）：
処理容器内に収容される被処理体を吸着保持する静電チャック装置において、一側面に静電吸着用導電層が形成されると共に他側面に前記被処理体を保持させる絶縁保持板と、前記処理容器内に収容されるべきプラズマ用電極と、両面に接着剤が形成されると共に前記導電層の形成された絶縁保持板の面と前記プラズマ用電極との間に介在されて接合する絶縁性フィルムとを備えたことを特徴とする静電チャック装置。
IPC (2件)：
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