特許
J-GLOBAL ID：200903046924661050
軟磁性材料及びこれを用いた磁気ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-218542
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083712
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 非磁性基板に形成された傾斜面上に軟磁性薄膜が成膜されて成る軟磁性材料の軟磁気特性の向上、及び軟磁性材料を用いた磁気ヘッドの記録再生特性の向上を目的とする。【構成】 非磁性基板に形成された傾斜面上に、Fe、Al及びSiから成る軟磁性薄膜を成膜して成る軟磁性材料において、非磁性基板と軟磁性薄膜の間に、Ta、Nb、Zr、Ti、Al、Cr、Mo、W、Pt、Au、Pd、Ag、Vから選ばれる1種以上の金属から成る下地膜を配する。上記軟磁性材料は、非磁性基板と下地膜の間に、SiO2 、Al2O3、ZrO2 、Ta2O5、MgOから選ばれる少なくとも1種から成る酸化物絶縁膜を配したり、軟磁性薄膜を中間絶縁膜を介して積層してもよい。そして、このような軟磁性材料によって、磁気ヘッドの磁気回路の少なくとも一部を形成する。
請求項（抜粋）：
Fe、Al及びSiから成る軟磁性薄膜が、非磁性基板に形成された傾斜面上に、Ta、Nb、Zr、Ti、Al、Cr、Mo、W、Pt、Au、Pd、Ag、Vから選ばれる1種以上の金属から成る下地膜を介して成膜されていることを特徴とする軟磁性材料。
IPC (6件)：
H01F 10/08
, C22C 38/00 303
, C22C 38/06
, C23C 14/14
, C23C 14/18
, G11B 5/31
