特許

J-GLOBAL ID：200903046925786042

プラズマ処理によるリチウム遷移金属酸化物薄膜の結晶化方法

発明者： ジャイ・ヨン・リー ,  ヨゥン・ソン・カン ,  ホ・リー ,  スン・チュル・パク ,  ヨン・モーク・カン
出願人/特許権者： コリア アドバンスト インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333625
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316817
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は薄膜形態のリチウム2次電池の電極用リチウム遷移金属酸化物薄膜の結晶化方法に関する。【解決手段】 本発明によればマイクロ波または高周波により誘起された酸素または不活性気体プラズマにリチウム遷移金属酸化物薄膜を反応させることによって結晶性が向上したリチウム遷移金属酸化物薄膜を提供できる。本発明のプラズマ処理法を使用すれば400°C以下の低温で20分以内の時間に短縮できて既存の炉熱処理方法により酸化物薄膜を結晶化させるために750°C以上の高温で数時間ないし数十時間が必要であった問題点を解決できるのみだけでなく従来ガラス基板またはアルミニウムなどの融点が低い物質を基板に使用できなかった問題点も併せて解決できる。

請求項（抜粋）：

基板上に電極物質としてリチウム遷移金属酸化物薄膜を蒸着する段階、及び前記リチウム遷移金属酸化物薄膜をプラズマ処理する段階を含むプラズマ処理によるリチウム遷移金属酸化物薄膜の結晶化方法。

IPC (2件)：

C23C 14/58 ,  H01M 4/04

FI (2件)：

C23C 14/58 C ,  H01M 4/04 A

Fターム (23件)：

4K029AA02 ,  4K029AA06 ,  4K029AA09 ,  4K029BA50 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029FA07 ,  4K029GA02 ,  5H050AA19 ,  5H050BA17 ,  5H050CA01 ,  5H050CA02 ,  5H050CA07 ,  5H050CA08 ,  5H050CA09 ,  5H050CA11 ,  5H050CA17 ,  5H050DA01 ,  5H050FA02 ,  5H050FA18 ,  5H050FA19 ,  5H050GA01 ,  5H050GA27