特許

J-GLOBAL ID：200903046939501865

水晶振動子の製造方法

発明者： 金星 章大 ,  小椋 哲義 ,  田口 豊 ,  江田 和生
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180872
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029863
出願日： 1991年07月22日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】水晶振動素子を真空に封止した後、周波数調整用の金属膜の面積を大きくすることなく、調整できる周波数の最小値は小さく、なおかつ周波数調整可能な範囲は大きく取れ、より高精度の水晶振動子を効率よく得る方法を提供することを目的とするものである。【構成】水晶振動素子14は、セラミックケース15内に、金属膜11a、11bを蒸着したガラス板12によって真空に封止されている。これら金属膜の一部をレーザー照射により水晶振動素子14に付着させ、共振周波数を調整するが、レーザー照射一回当りに水晶振動素子14に付着する金属の質量は、金属膜11aの部分の方が金属膜11bの部分より大きい。水晶振動子の共振周波数は、水晶振動素子14に付着した金属の質量によって低下するので(質量付加効果)、周波数の粗調整に金属膜11aを用い、微調整には11bを用いることにより、金属膜の面積を広げることなく、調整可能な周波数範囲を広げ、なおかつ調整後の周波数の精度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

水晶振動素子を封止する容器内面に金属を付着させ、前記容器を用いて水晶振動素子を真空に封止した後に、外部からレーザー光を用いて前記容器内面の金属を飛散させ前記水晶振動素子に付着させることにより、周波数調整を行う水晶振動子において、前記レーザー光照射一回当りに前記水晶振動素子に付着する前記金属の質量が前記容器内面の場所によって異ならせる水晶振動子の製造方法。