特許
J-GLOBAL ID:200903046963376877

コーティング皮膜のドロップレット除去方法及び密着性評価方法。

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-163406
公開番号(公開出願番号):特開2002-356773
出願日: 2001年05月30日
公開日(公表日): 2002年12月13日
要約:
【要約】【課題】 アーク式物理的蒸着処理で形成されるコーティング皮膜のドロップレットを、皮膜を損傷することなく容易かつ確実に除去でき、さらに、このドロップレットの除去と同時にコーティング皮膜の密着性を評価できるドロップレット除去方法を提供することを目的とする。【解決手段】 TiN被膜12を形成したワーク1を1mm/secで移動させ、このTiN被膜12に対して、1500kgf/cm2の高圧水を、噴射距離L:25mm、噴射角度Q:90°でもって噴射する。すると、この高圧水によりTiN被膜12に付着しているドロップレット2が除去される。また、TiN被膜12の密着性が低い場合には、このドロップレット2の除去と同時にTiN被膜12に剥脱が生じるので、簡単な目視検査によって確実にTiN被膜12の密着性を評価することができる。
請求項(抜粋):
アーク式物理的蒸着処理で形成されたコーティング皮膜の表面に、高圧流体を噴射してドロップレットを除去することを特徴とするコーティング皮膜のドロップレット除去方法。
IPC (3件):
C23C 14/58 ,  C23C 14/24 ,  G01N 19/04
FI (3件):
C23C 14/58 Z ,  C23C 14/24 F ,  G01N 19/04 Z
Fターム (6件):
4K029AA02 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029DB17 ,  4K029DD06 ,  4K029GA00

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