特許
J-GLOBAL ID：200903046965954630
赤外線デバイス及びこれを用いたガス検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-205926
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051761
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 赤外線光源及び赤外線検出器からなる小型の赤外線デバイスを提供する。【解決手段】 半導体基板11上にフィラメント12が形成されるとともにダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成してなる赤外線光源1と、半導体基板21と支持膜22によりダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成してなり支持膜22上に赤外線検出部23〜26が形成された赤外線検出器2とが同一のパッケージ3内に実装されてなる。
請求項（抜粋）：
半導体基板上にフィラメントが形成されるとともにダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成してなる赤外線光源と、半導体基板と支持膜によりダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成してなり支持膜上に赤外線検出部が形成された赤外線検出器とが同一のパッケージ内に実装されてなることを特徴とする赤外線デバイス。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01N 21/35
, G01N 21/59
G01J 1/02 C
, G01N 21/35 Z
, G01N 21/59 Z
