特許
J-GLOBAL ID：200903046974780220
パターン検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-298837
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240627
出願日： 1991年11月14日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明はパターン検査装置に関し、欠陥パターンの欠陥レベルを複数段階に設定し、欠陥レベルの検出を行うパターン検査装置を提供することを目的としている。【構成】 測定対象物に形成された配線パターンのパターン形状を読み取るパターン形状読取手段と、該配線パターンの欠陥レベルを複数段階に設定するとともに、該欠陥レベルの閾値となる複数のパターン形状を格納するパターン形状格納手段と、該パターン形状格納手段に格納されたパターン形状と該パターン形状読取手段によって読み取られたパターン形状とを比較するパターン形状比較手段とを備え、前記パターン形状比較手段による比較結果、前記配線パターンの欠陥の有無、及び欠陥レベルを検査するように構成する。
請求項（抜粋）：
測定対象物に形成された配線パターンのパターン形状を読み取るパターン形状読取手段と、該配線パターンの欠陥レベルを複数段階に設定するとともに、該欠陥レベルの閾値となる複数のパターン形状を格納するパターン形状格納手段と、該パターン形状格納手段に格納されたパターン形状と該パターン形状読取手段によって読み取られたパターン形状とを比較するパターン形状比較手段と、を備え、前記パターン形状比較手段による比較結果、前記配線パターンの欠陥の有無、及び欠陥レベルを検査することを特徴とするパターン検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
