特許
J-GLOBAL ID:200903046980202432
水晶デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-289019
公開番号(公開出願番号):特開2003-101363
出願日: 2001年09月21日
公開日(公表日): 2003年04月04日
要約:
【要約】【課題】水晶振動子の発する基準信号が配線層で大きく減衰する。【解決手段】上下両面に搭載部1a、1bを有する基体1と、該基体1上面の搭載部1aに固定材8を介して固定されている水晶振動子5と、前記基体1下面の搭載部1bに搭載され前記水晶振動子5の温度補償を行なう半導体素子6とから成る水晶デバイス7であって、前記基体1が40乃至46重量%の酸化珪素と、25乃至30重量%の酸化アルミニウムと、8乃至13重量%の酸化マグネシウムと、6乃至9重量%の酸化亜鉛と、8乃至11重量%の酸化ホウ素とから成る結晶性ガラスで、配線層2が2.5μΩ・cm以下の比電気抵抗を有する金属材で形成されており、かつ前記固定材8の弾性率が2.8GPa以下である。
請求項(抜粋):
上下両面に搭載部を有し、該各搭載部から外表面にかけて配線層が導出されている基体と、該基体の搭載部に固定材を介して固定されている水晶振動子と、前記基体下面の搭載部に搭載され、前記水晶振動子の温度補償を行なう半導体素子とから成る水晶デバイスであって、前記基体が40乃至46重量%の酸化珪素と、25乃至30重量%の酸化アルミニウムと、8乃至13重量%の酸化マグネシウムと、6乃至9重量%の酸化亜鉛と、8乃至11重量%の酸化ホウ素とから成る結晶性ガラスで、配線層が2.5μΩ・cm以下の比電気抵抗を有する金属材で形成されており、かつ前記固定材の弾性率が2.8GPa以下であることを特徴とする水晶デバイス。
IPC (5件):
H03H 9/02
, H01L 23/08
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H03B 5/32
FI (6件):
H03H 9/02 K
, H03H 9/02 A
, H01L 23/08 B
, H03B 5/32 H
, H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 A
Fターム (24件):
5J079AA04
, 5J079BA02
, 5J079BA43
, 5J079FA01
, 5J079HA03
, 5J079HA07
, 5J079HA09
, 5J079HA16
, 5J079HA25
, 5J079HA29
, 5J079KA05
, 5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108FF11
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108GG11
, 5J108GG15
, 5J108GG16
, 5J108GG17
, 5J108JJ04
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