特許
J-GLOBAL ID：200903046986317720
音叉型水晶振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-110515
公開番号（公開出願番号）：特開平5-308238
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 フォトエッチング加工によって形成されるZ板系音叉型水晶振動子において、振動子ユニットに付加される圧力に対する周波数変化を抑制する目的で、音叉型水晶振動子の寸法形状の数値限定を行う。【構成】 音叉型水晶振動子の股幅寸法Dとエッチング加工によって生じた、エッチング残り寸法Hとの比D/Hをエッチング時間の制御によって6〜14の間に限定することにより、圧力付加に対する周波数変化を低減させる。
請求項（抜粋）：
水晶の結晶構造のz軸に垂直な主面を持つ薄板Z板を材料とし、エッチング加工により音叉型振動子片を形成する音叉型水晶振動子の製造方法において、前記音叉型振動子片の股幅寸法Dと股部のエッチング残り寸法Hとの比D/Hが6〜14になるようエッチングすることを特徴とする音叉型水晶振動子の製造方法。
引用特許：
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