特許
J-GLOBAL ID：200903046993297750
表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081509
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286968
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【構成】 スリット光29を照射する投光手段13と、熱延鋼板11からの反射光26を受光するために所定の受光立体角α、βにそれぞれ設定された2個のCCDカメラ21、22と、これらへ反射光26を導くハーフミラー25と、CCDカメラ21、22からの画像信号21a、22aを処理する信号処理手段28とを備えている表面欠陥検査装置。【効果】 CCDカメラ21、22の画像信号21a、22aから優れたS/N比で凹状欠陥とスリ疵状欠陥とを確実に検出することができるとともに、高いしきい値で比較することができるため、凹状欠陥とスリ疵状欠陥以外のものが欠陥として誤検出されるのを防止することができる。
請求項（抜粋）：
被検査物に光を照射し、前記被検査物からの反射光量に基づいて前記被検査物の表面欠陥を検出するための表面欠陥検査装置において、前記被検査物に光を照射する投光手段と、前記被検査物からの反射光を受光するために所定の受光立体角に設定された複数個の受光手段と、これらそれぞれの受光手段へ前記反射光を導く導光手段と、前記受光手段からの信号を処理する信号処理手段とを備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, H04N 7/18
