特許
J-GLOBAL ID:200903046997159530
キュービック形態の銅ナノ粒子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
三好 秀和
, 伊藤 正和
, 原 裕子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-221402
公開番号(公開出願番号):特開2008-057041
出願日: 2007年08月28日
公開日(公表日): 2008年03月13日
要約:
【課題】金属ナノ粒子を、球形ではなく、キュービック形態に製造することにより、伝導性配線の形成時に空隙の生成を効果的に除去することができ、配線の高さを高くすることができるキュービック形態の銅ナノ粒子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明によるキュービック形態の銅ナノ粒子の製造方法は、(a)銅前駆体とアミン系化合物とを混合して撹拌する段階と、(b)混合溶液を90ないし170°Cまで昇温させた後、その温度にて反応させる段階と、(c)反応終了後、非水系溶媒に前記混合溶液を投入し、溶液の温度を20ないし50°Cに低下させる段階と、及び(d)前記混合溶液にアルコール系溶媒を投入してナノ粒子を沈殿させて得る段階とを含むことを特徴とする。【選択図】図5
請求項(抜粋):
(a)銅前駆体とアミン系化合物とを混合して撹拌する段階と、
(b)混合溶液を90ないし170°Cまで昇温させた後、その温度で反応させる段階と、
(c)反応終了後、非水系溶媒に前記混合溶液を投入して溶液の温度を20ないし50°Cに低下させる段階と、及び
(d)前記混合溶液にアルコール系溶媒を投入してナノ粒子を沈殿させて得る段階と、
を含むキュービック形態の銅ナノ粒子の製造方法。
IPC (7件):
B22F 9/24
, B82B 3/00
, H01B 5/00
, H01B 1/22
, H01B 5/14
, B22F 1/00
, C01G 3/02
FI (7件):
B22F9/24 B
, B82B3/00
, H01B5/00 F
, H01B1/22 Z
, H01B5/14
, B22F1/00 L
, C01G3/02
Fターム (15件):
4K017AA03
, 4K017BA05
, 4K017CA08
, 4K017DA01
, 4K017DA07
, 4K017EJ01
, 4K017EJ02
, 4K017FB07
, 4K018BA02
, 4K018BB05
, 4K018BD04
, 5G301DA06
, 5G301DA23
, 5G301DD02
, 5G307AA08
引用特許:
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