特許

J-GLOBAL ID：200903046997316644

液晶表示装置用基板及びそれを用いた液晶表示装置

発明者： 美崎 克紀 ,  澤崎 学 ,  田野瀬 友則
出願人/特許権者： 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-369354
公開番号（公開出願番号）：特開2004-318063
出願日： 2003年10月29日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】アレイ基板側にCFを有するLCD用基板におけるCFの残渣や剥離を抑制して導通不良をなくす。【解決手段】複数の画素領域にそれぞれ形成された画素電極とその画素電極を駆動するTFT2との間に形成されるパッシベーション膜14を、SiN層14a,14b、SiO層14cの積層構造とし、その最上層をSiO層14cとする。このような積層構造のパッシベーション膜14上に樹脂CF層15を形成する。樹脂CF層15は、SiO層14c上に直接形成されることにより、その密着力の低下が抑制され、樹脂CF層15形成時にはCFの剥離が発生し難くなり、樹脂CF層15へのコンタクトホール形成時にはCFの残渣が発生し難くなる。それにより、導通不良が抑制され、表示特性に優れた信頼性の高いTFT基板1およびLCDが実現される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の画素領域にそれぞれ形成された画素電極と前記画素電極を駆動するスイッチング素子との間に形成されたパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜上に形成されたカラーフィルタ層と、を有する液晶表示装置用基板において、 前記パッシベーション膜は、窒化シリコン層と酸化シリコン層または酸窒化シリコン層との積層構造を有し、前記カラーフィルタ層に接して前記酸化シリコン層または前記酸窒化シリコン層が形成されていることを特徴とする液晶表示装置用基板。

IPC (3件)：

G02F1/1368 ,  G02F1/1335 ,  H01L29/786

FI (3件)：

G02F1/1368 ,  G02F1/1335 505 ,  H01L29/78 619A

Fターム (76件)：

2H091FA03Y ,  2H091FC10 ,  2H091FD24 ,  2H091GA01 ,  2H091GA03 ,  2H091GA13 ,  2H091GA16 ,  2H091KA10 ,  2H091LA02 ,  2H091LA16 ,  2H092GA29 ,  2H092JA26 ,  2H092JA33 ,  2H092JA39 ,  2H092JA43 ,  2H092JA46 ,  2H092JB57 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB24 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA10 ,  2H092MA13 ,  2H092MA16 ,  2H092MA17 ,  2H092MA22 ,  2H092MA25 ,  2H092MA42 ,  2H092NA07 ,  2H092NA15 ,  2H092NA18 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092RA05 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN12 ,  5F110NN14 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN37 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 薄膜トランジスタマトリクス装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-348260   出願人：富士通株式会社
• 液晶表示素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-194510   出願人：東芝電子エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝

審査官引用 (3件)

• 液晶表示装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-112008   出願人：日本電気株式会社
• 液晶表示素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-095498   出願人：株式会社東芝
• 液晶表示装置用カラーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-072360   出願人：凸版印刷株式会社