特許
J-GLOBAL ID：200903047000196063
現像廃液濃縮装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 三雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-019016
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209841
出願日： 1994年01月18日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 小規模の店舗にも導入することのできる、小型で低価格で高効率の現像廃液濃縮装置を提供する。【構成】 蒸発槽2aと結露槽2bとに区分され、各槽の上部が連通されている濃縮タンク2と、ペルチェ素子部16によって構成され、発熱側23aが蒸発槽2aに接し吸熱側23bが結露槽2bに接している発熱/吸熱部4と、蒸発槽2内の廃液量を一定範囲内の液量に制御する補充ポンプ3と、発熱側4aの温度を一定範囲内の値に制御する冷却部5などを備える。
請求項（抜粋）：
蒸発槽と結露槽とに区分されると共に、前記各槽の上部が連通されている濃縮タンクと、ペルチェ素子によって構成されており、その発熱側が前記蒸発槽に接し、その吸熱側が前記結露槽に接している発熱/吸熱部と、前記蒸発槽内の廃液量を、一定範囲内の液量に制御する液量調整手段と、前記発熱/吸熱部の発熱側又は吸熱側の温度を、一定範囲内の値に制御する温度調整手段とを備えることを特徴とする現像廃液濃縮装置。
IPC (4件)：
G03D 3/00
, C02F 1/04
, G03C 5/00
, H01L 35/32
