特許
J-GLOBAL ID:200903047001086920
転がり軸受
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
和気 操
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-364590
公開番号(公開出願番号):特開2004-197785
出願日: 2002年12月17日
公開日(公表日): 2004年07月15日
要約:
【課題】半導体製造装置や液晶表示装置等の真空雰囲気で使用される機器に用いられ、導電性、低アウトガス、低発塵および耐久性を全て兼ね備えた導電性の転がり軸受を提供する。【解決手段】内輪1および外輪2、内・外輪1、2の軌道面1a、2a間に介在する複数の球3、球3を円周等間隔に保持する保持器4で構成され、保持器が樹脂製保持器で、複数の球3の中で少なくとも1個はカーボン製の球3aで構成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
内輪および外輪と、この内外輪間に介在する複数の転動体と、この転動体を保持する保持器とを備えた転がり軸受であって、
前記保持器が樹脂製保持器であり、前記複数の転動体のうち少なくとも1個がカーボン製の転動体であることを特徴とする転がり軸受。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (17件):
3J101AA02
, 3J101AA32
, 3J101AA42
, 3J101AA52
, 3J101AA62
, 3J101BA10
, 3J101BA50
, 3J101CA33
, 3J101DA14
, 3J101EA33
, 3J101EA47
, 3J101EA72
, 3J101FA04
, 3J101FA31
, 3J101FA41
, 3J101GA55
, 3J101GA57
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