真空配管用トラップ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109532
公開番号（公開出願番号）：特開平7-313824
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】高真空度を維持しながら、捕捉した異物の最飛散及び目詰まりを防止できる真空配管用トラップを提供する。【構成】本発明の真空配管用トラップは、下記の要件A〜Eから構成される。A.真空容器、B.該真空容器の内部に包含された異物捕集体、C.該異物捕集体の上部に設けた洗浄液の散布手段、D.該洗浄液の循環手段、及びE.該異物捕集体を挟んで該真空容器の上方部壁と下方部壁に、それぞれ付設された気体の流入口と排気口。

請求項（抜粋）：

下記の要件A〜Eを同時に満足する真空配管用トラップ。A.真空容器、B.該真空容器の内部に包含された異物捕集体、C.該異物捕集体の上部に設けた洗浄液の散布手段、D.該洗浄液の循環手段、及びE.該異物捕集体を挟んで該真空容器の上方部壁と下方部壁に、それぞれ付設された気体の流入口と排気口。

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