特許
J-GLOBAL ID：200903047008789705
クリーンルーム内の微量汚染空気の浄化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294501
公開番号（公開出願番号）：特開平6-142439
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】 半導体工業、精密機械工業、写真工業、医薬品製造工業、又は病院等のクリーンルーム内の微量汚染空気の浄化する方法。【構成】 少なくともイオン交換繊維より成るフィルター部及びガラス繊維部より成るフィルター部にクリーンルーム内の空気を通過させて浄化する方法であって、このイオン交換繊維がイオン交換基及び親水基を含有するものであり、且つイオン交換繊維が放射線グラフト重合により製造されるものである。
請求項（抜粋）：
少なくともイオン交換繊維より構成されたフィルター部およびガラス繊維より構成されたフィルター部にクリーンルーム内の空気を通過させることを特徴とするクリーンルーム内の微量汚染空気の浄化方法。
IPC (3件)：
B01D 53/34 ZAB
, B01D 53/04 ZAB
, H01L 21/02
