特許
J-GLOBAL ID:200903047011709259

半導体発光素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-124240
公開番号(公開出願番号):特開平10-321942
出願日: 1997年05月14日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 窒素を含有するIII -V族化合物を用いた半導体発光素子において、発光特性を向上し動作電圧を低減できるようにする。【解決手段】 面方位が(0001)のサファイアよりなる基板11上には、上部に段差部を有するn型GaN層13が形成されている。n型GaN層13の上における段差部の上段側には、アンドープGaNよりなる第1のガイド層15と、活性層16bを含む多重量子井戸層16と、アンドープGaNよりなる第2のガイド層17と、p型不純物であるMgが活性層16b側の領域へ拡散することを抑制する拡散抑制層18と、p型Al0.1 Ga0.9 Nよりなるp型クラッド層19と、p型GaNよりなるp型コンタクト層20と、Niよりなる第1の金属膜22a及び該第1の金属膜22aの上にAuよりなる第2の金属膜22bが積層されてなる陽電極22とが順次形成されている。
請求項(抜粋):
基板上に形成され、窒素を含むIII -V族化合物よりなる第1導電型の第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層の上に形成され、窒素を含むIII -V族化合物よりなる活性層と、前記活性層の上側に形成され、窒素を含むIII -V族化合物よりなる第2導電型の第2のクラッド層とを備えた半導体発光素子において、前記活性層と前記第2のクラッド層との間に形成されており、前記第2のクラッド層の第2導電型の不純物が前記活性層側の領域へ拡散することを抑制するAlNを含む拡散抑制層を備えていることを特徴とする半導体発光素子。

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