特許
J-GLOBAL ID：200903047016109209

空気清浄装置

発明者：
末永 修

末永 修 について

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深沢 泰司

深沢 泰司 について

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松尾 剛伸

松尾 剛伸 について

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若林 剛

若林 剛 について

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後町 智雄

後町 智雄 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について

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大成建設株式会社

大成建設株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-247781
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061246
出願日： 1998年08月18日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：
【要約】【課題】 外気中の化学的汚染物質はクリーンルーム内のケミカルフィルタで除去するようにしているが、今後0.18〜0.20μmの微細加工が主流になると、クリーンルーム内のケミカルフィルのみで化学的汚染物質を除去するだけでは十分でなく、ケミカルフィルタの負担が益々大きくなる。【解決手段】 本発明の外調機1は、外気を吸引して送風するファン2と、ファン2を介して吸引された外気中の塵埃を除去する除塵機構3と、除塵機構3を通過した空気の温湿度を調節する温湿度調節機構4と、これらを一括して収納するケーシング5とを備え、ケーシング5内に外気に含有されるイオン成分や金属成分等の化学的汚染物質を除去する化学的汚染物質除去手段6を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
外気を吸引して送風する送風機と、この送風機を介して吸引された外気中の塵埃を除去する除塵機構と、この除塵機構を通過した空気の温湿度を調節する温湿度調節機構と、これらを一括して収納するケーシングとを備え、上記ケーシング内に上記外気に含有される化学的汚染物質を除去する化学的汚染物質除去手段を設けたことを特徴とする空気清浄装置。
IPC (2件)：
B01D 53/18 ,  B01D 46/00
FI (2件)：
B01D 53/18 E ,  B01D 46/00 F
Fターム (24件)：
4D020AA05 ,  4D020AA06 ,  4D020AA10 ,  4D020BA23 ,  4D020BB03 ,  4D020CB25 ,  4D020CD01 ,  4D020CD02 ,  4D020CD10 ,  4D020DA01 ,  4D020DA02 ,  4D020DA03 ,  4D020DB01 ,  4D020DB05 ,  4D020DB06 ,  4D058JA01 ,  4D058KB11 ,  4D058PA01 ,  4D058PA20 ,  4D058SA04 ,  4D058TA02 ,  4D058UA01 ,  4D058UA03 ,  4D058UA30
引用特許：
審査官引用 (4件)
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