特許

J-GLOBAL ID：200903047018854874

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 橋本 憲一郎
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085159
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272137
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】インクジェットプリンタなどの画像記録装置の性能として、高速印字、高密度印字の要求が高まっている。そのためには、ノズルや吐出室を高密度に並べなければならないが、吐出室を高密度に並べると、第1の基板のエッチングされない領域が小さくなり、吐出室、振動板や共通インク室を形成した第1の基板は非常に強度の低いものとなってしまい、吐出室、振動板や共通インク室を形成するためのエッチングの途中で、或いは、その後の工程において、破損による歩留まりの低下を招くことになる。この従来の問題点を解決し、ノズル及び吐出室を高密度に効率的に作製する。【解決手段】 振動板/液室基板1となるシリコン基板21と電極基板2を接合した後、シリコン基板21に異方性エッチングを施し、吐出室6となる凹部11及び振動板10を作製する。

請求項（抜粋）：

インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面の一部を構成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板を形成する基板と前記電極を形成する基板とを接合した後、前記振動板を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (21件)：

2C057AF01 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG54 ,  2C057AG55 ,  2C057AG85 ,  2C057AG91 ,  2C057AN01 ,  2C057AN05 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP24 ,  2C057AP26 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP56 ,  2C057AP73 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15