特許

J-GLOBAL ID：200903047021638503

圧電アクチュエータ及びその製造方法並びにインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： 西村 和夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (6件)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  原田 智雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-287372
公開番号（公開出願番号）：特開2004-104106
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】 圧電アクチュエータにおいて、変位領域の圧電層の圧電特性を低下させることなく、圧電層全体の誘電率の低下を図る。【解決手段】 圧電アクチュエータは、振動板26と、振動板26上に形成された共通電極27と、共通電極27上に形成された圧電体29と、圧電体29上に形成された結晶制御層28と、結晶制御層28上に形成された個別電極33と、圧電体29上に形成された電極配線34とを有している。結晶制御層28は変位領域に対応した部分に位置するように形成されている。変位領域の圧電体29aの結晶性はペロブスカイト型構造である。配線領域の圧電体29bの結晶性はパイロクロア型構造である。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

下部電極と、該下部電極上に形成された圧電層と、該圧電層上に形成され、上記下部電極とともに上記圧電層に電圧を印加する上部電極とを備えた圧電アクチュエータであって、 上記圧電層は、変位領域における圧電層と、上記変位領域以外の部分に位置する配線領域における圧電層とによって構成され、 上記配線領域における圧電層の誘電率は、上記変位領域における圧電層の誘電率よりも低い圧電アクチュエータ。

IPC (6件)：

H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

FI (9件)：

H01L41/08 C ,  H02N2/00 B ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 U ,  H01L41/22 Z

Fターム (15件)：

2C057AF54 ,  2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG39 ,  2C057AG40 ,  2C057AG44 ,  2C057AG93 ,  2C057AG99 ,  2C057AP02 ,  2C057AP15 ,  2C057AP31 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-322657   出願人：セイコーエプソン株式会社