特許

J-GLOBAL ID：200903047024775153

改善された光開始剤

発明者： ロバート・ケー・バー ,  エドガルド・アンズレ ,  ダニエル・イー・ランディ
出願人/特許権者： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
代理人 (3件)： 千田 稔 ,  辻永 和徳 ,  橋本 幸治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-335762
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163904
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】現像液と剥離液中のスカムと残渣の蓄積並びに装置とプリント配線板上のスカムや残渣の堆積をなくすか、少なくとも低下させることの出来る光重合開始剤成分を提供する。【解決手段】親水性キャリア成分に結合された光開始剤を含んでなる化合物。このキャリア成分はこの全体の化合物が水溶性あるいは水乳化性であるように充分な親水性を含んでもよい。この化合物をフォトレジストなどの感光性配合物で使用する。該キャリア成分は、例えばモノマー、オリゴマー、ポリマー、可塑剤、界面活性剤を含む。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

親水性キャリア成分に結合された光開始剤を含んでなる化合物。

IPC (3件)：

G03F7/028 ,  C07D233/88 ,  C08F2/50

FI (3件)：

G03F7/028 ,  C07D233/88 ,  C08F2/50

Fターム (32件)：

2H025AA04 ,  2H025AB03 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC88 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA11 ,  2H025CA28 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC05 ,  2H025FA17 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA05 ,  4J011QA07 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011WA01

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 米国特許第5,952,153号明細書
  
• 米国特許第4,537,855号明細書
  
• 米国特許第5,922,522号明細書
  
• 米国特許第6,063,550号明細書
  
• 米国特許第6,248,506B1号明細書
  
• 米国特許第6,180,319B1号明細書