特許
J-GLOBAL ID：200903047029949443
高周波装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296509
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139299
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 カプラで検出された反射電力に対応した値を表示出来る様に成す。【解決手段】 トランジスタ回路9に変調信号発生回路8からのパルス信号Vpが供給されているので、パルス信号の“ハイ”の期間にコンデンサCsに充電されていた電荷は、抵抗RsとコンデンサCsの時定数に従って放電する。高周波出力Vfの立上がり期間と、立ち下がり期間を含む“オフ”の期間は、トランジスタTRsが導通の状態にあるので、入射電力表示器7の入力部の電位Vrmは0となり、該入射電力表示器7は最小値(0)を表示する。高周波出力Vfの立上がりを除く“オン”の期間は、前記トランジスタTRsは非導通(“オフ”)の状態にあるので、電位Vrmは前記カプラ5で検出された反射電力に対応したものとなるので、該入射電力表示器7には前記反射電力に対応した値が表示される。
請求項（抜粋）：
高周波電源、該高周波電源からの高周波出力が供給される負荷、該負荷と前記高周波電源の間の反射電力を検出する検出器、該検出器の値を表示する表示器、前記高周波電源と負荷のインピーダンスマッチングをとるマッチング回路を備えた高周波装置において、前記高周波電源のからの高周波出力を変調する変調回路を設け、該変調回路と前記表示器の入力部の間に該変調回路からの変調信号に同期して動作するトランジスタ回路を設けた高周波装置。
IPC (6件)：
H05H 1/46
, C23C 14/40
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H05H 1/46 R
, C23C 14/40
, C23C 16/50
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
