特許
J-GLOBAL ID：200903047030316616
ウェーハ移載制御方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265532
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097263
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 自動的にモニタウェーハ移載の有無を認識し、また、モニタウェーハ移載の有無にかかわらずボード上のウェーハの数及び配置に変動が生じないウェーハ移載制御方式を提供する。【構成】 ウェーハアレンジメントパラメータの1つとして何バッチに1回モニタウェーハを移載するかを示すモニタウェーハ移載間隔(n)を設け、それに従ってモニタウェーハの要不要のバッチであるか判断し、要のバッチではモニタウェーハを移載するよう移載動作パラメータを作成し、不要のバッチではモニタウェーハ移載位置に代わってダミーウェーハを移載するよう移載動作パラメータを作成し、この移載動作パラメータで移載動作を実行するウェーハ移載制御方式である。
請求項（抜粋）：
ボートに移載するウェーハの配置を制御するウェーハアレンジメントパラメータにウェーハ処理状態を検査する1枚以上のモニタウェーハを何バッチに1回移載するかを示すモニタウェーハ移載間隔を設定し、前記モニタウェーハ移載間隔からバッチ毎に前記モニタウェーハの移載の有無を判断し、前記モニタウェーハ移載有の場合に移載するウェーハ中にモニタウェーハが含まれるよう移載動作を制御する移載動作パラメータが作成され、前記移載動作パラメータに従ってウェーハの移載動作が実行されることを特徴とするウェーハ移載制御方式。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 1/06
, H01L 21/22
