特許

J-GLOBAL ID：200903047035548469

表示装置用電極及びその製造方法

発明者： 福田 晋也 ,  川野 浩康 ,  原田 秀樹
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-181478
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119694
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 電極上に形成される誘電体層に、伝導層を構成する金属が拡散することを防ぐことを課題とする。【解決手段】 基体上に形成された電極であって、該電極が基体側から下地層、伝導層及び保護層の順で少なくとも伝導層を保護層で完全に覆うように積層され、下地層及び保護層が伝導層と合金化或いは金属間化合物化し難く、かつ伝導層への固溶度が低い金属又はその合金から構成されることを特徴とする表示装置用電極により上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

基体上に形成された電極であって、該電極が基体側から下地層、伝導層及び保護層の順で少なくとも伝導層を保護層で完全に覆うように積層され、下地層及び保護層が伝導層と合金化或いは金属間化合物化し難く、かつ伝導層への固溶度が低い金属又はその合金から構成されることを特徴とする表示装置用電極。

IPC (5件)：

G09F 9/30 335 ,  G02F 1/1343 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/04

FI (5件)：

G09F 9/30 335 ,  G02F 1/1343 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 表示パネルの電極形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-025181   出願人：富士通株式会社
• プラズマディスプレイの導電パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-055043   出願人：メルテックス株式会社