特許
J-GLOBAL ID：200903047037710158
クリーンルームの温湿度制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265564
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094262
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 外調機によって一次温湿度制御及び清浄化の施された空気をバックエリア用内調機に供給し、このバックエリアより排出される空気の一部をベイエリア用内調機の導入空気にすることで、クリーンルームの各エリア内の温湿度制御を高精度に行えるようにする。【構成】 温度及び湿度が管理され、更に清浄化された空気をバックエリア1及びベイエリア2に供給するクリーンルームにおいて、外気を取り込んで空調する外調機5、この外調機5から供給される空気を所望の温湿度に制御してバックエリア1に供給すると共に、該バックエリアとの間で空気を循環させる内調機11、バックエリア1からの空気を所望の温湿度に制御してベイエリア2に供給すると共にベイエリア2との間で空気を循環させる内調機12とを備えて構成する。
請求項（抜粋）：
温度及び湿度が管理され、更に清浄化された空気をバックエリア及びベイエリアに供給するクリーンルームにおいて、外気を取り込んで空調する外調機と、この外調機から供給される空気を所望の温湿度に制御して前記バックエリアに供給すると共に該バックエリアとの間で空気を循環させる少なくとも1つのバックエリア用内調機と、前記バックエリアからの空気を所望の温湿度に制御して前記ベイエリアに供給すると共に該ベイエリアとの間で空気を循環させる少なくとも1つのベイエリア用内調機とを具備することを特徴とするクリーンルームの温湿度制御装置。
引用特許：
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