特許

J-GLOBAL ID：200903047037958354

薄膜機能部材

発明者： 羽賀 浩一 ,  伊藤 彰浩 ,  三浦 博
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー応用電子研究所株式会社
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310650
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043399
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 目的とする結晶性が良い酸化物単結晶薄膜を有する薄膜機能部材を提供すること。【構成】 絶縁性を有する基板1上に、SiやGeを含有する物質の単結晶薄膜2を形成し、その上に中間層3を設けた後、酸化物単結晶薄膜4を設けた薄膜機能部材であって、特に、中間層の結晶系が立方晶で、格子定数のずれがSiやGeを含有する上記単結晶薄膜の15%以下である薄膜機能部材。

請求項（抜粋）：

絶縁性を有する基板上にSi原子あるいはGe原子のうち少なくとも一種を有する単結晶薄膜層上に、結晶系が立方晶で格子定数のずれが単結晶薄膜の15%以下である中間層を少なくとも一層有し、この中間層上に酸化物単結晶薄膜を有することを特徴とする薄膜機能部材。

IPC (3件)：

C30B 29/32 ,  C30B 29/30 ,  H01B 3/00