特許

J-GLOBAL ID：200903047038321244

熱処理装置

発明者： 遠目塚 幸二
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-141166
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343720
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ロードロック室を具備した熱処理装置に於いて、ロードロック室を小型化し、ロードロック室内での基板の汚染を防止し、製作費のコストダウン、処理品質の向上、ランニングコストの低下を図る。【解決手段】反応管30と、基板を保持するボート17と、該ボートが載置されるボートキャップ16と、ロードロック室26と、キャップエレベータと35、ボートエレベータとを具備し、前記キャップエレベータとボートエレベータは前記ロードロック室外より駆動するキャップとボート上下シャフト42とを有し、前記キャップエレベータと前記ボートエレベータは前記上下シャフトを介して前記ロードロック室内で前記ボートキャップとボートを昇降、旋回可能であり、前記キャップエレベータとボートエレベータの昇降、旋回の協働で前記キャップエレベータが保持するキャップとボートエレベータ間でボートを移載可能とした。

請求項（抜粋）：

反応管と、該反応管内で基板を保持するボートと、該ボートが載置されるボートキャップと、前記反応管下方に連設されたロードロック室と、キャップエレベータと、ボートエレベータとを具備し、前記キャップエレベータは前記ロードロック室外に設けられた駆動機構部と、該駆動機構部から前記ロードロック室を気密に貫通するキャップ上下シャフトとを有し、前記ボートエレベータはロードロック室外に設けられた駆動機構部と、該駆動機構部から前記ロードロック室を気密に貫通するボート上下シャフトとを有し、前記キャップエレベータは前記キャップ上下シャフトを介して前記ロードロック室内で前記ボートキャップを昇降、旋回可能であり、前記ボートエレベータは前記ボート上下シャフトを介し前記ロードロック室内でボートを昇降、旋回可能であり、前記キャップエレベータとボートエレベータの昇降、旋回の協働で前記キャップエレベータが保持するキャップとボートエレベータ間でボートを移載可能としたことを特徴とする熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/22 511 B ,  H01L 21/68 A

Fターム (21件)：

4K030CA04 ,  4K030DA09 ,  4K030GA13 ,  4K030KA04 ,  4K030KA26 ,  5F031CA02 ,  5F031HA67 ,  5F031LA12 ,  5F031MA28 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031NA18 ,  5F045DP20 ,  5F045DQ04 ,  5F045EB08 ,  5F045EM10 ,  5F045EN01 ,  5F045EN04 ,  5F045EN10