特許
J-GLOBAL ID：200903047044238588
真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名嶋 明朗 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-076831
公開番号（公開出願番号）：特開平5-329731
出願日： 1991年03月15日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 弾性弁7を振動させて異物の付着を防ぎ、かつ、弁座2と弾性弁7のシール面積を大として異物が付着した際、吸着保持力の低下を抑止する真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法を提供する。【構成】 弁室3に真空室1に通じる小孔4を透設した弧状の弁座2を形成する。弁室3に伸縮自在な弾性弁7を設ける。弾性弁7に弁座2の小孔4を遮蔽する小孔遮蔽部8を除いて複数の微細孔9を形成する。
請求項（抜粋）：
真空室に通じる小孔を透設した弧状の弁座を設けた弁室に伸縮自在な弾性弁を設け、該弾性弁に弁座の小孔を遮蔽する小孔遮蔽部を除いて複数の拡径自在な微細孔を形成したことを特徴とする真空チャック。
IPC (2件)：
引用特許：
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