特許
J-GLOBAL ID：200903047045396314
ウエハの位置ズレ補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087382
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280741
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 表面検査装置における、ウエハ1の真の中心Oと回転中心O’の位置ズレ量を検出し、異物データの座標値を補正する。【構成】 3個の光センサSa,Sb,Sc よりなる位置センサ部8を設け、ウエハ1のオリエンテーションフラットをY方向に位置決めした後、外周の3測定点p1,p2,p3 を検出して、それぞれの座標値を求め、これらより位置ズレ量(Δx,Δy)を算出し、MEM42に記憶されている異物データのXY座標値を補正する。【効果】 SEMによる異物に観察の際、所望の異物を容易に捕捉できる。
請求項（抜粋）：
被検査のウエハを装着して回転するスピンドルと、該スピンドルを該ウエハの半径Rの方向に移動するX移動機構、該ウエハの表面に対してレーザスポットを投射し、その散乱光を受光して該表面の付着異物を検出する検出光学系、および、該検出された異物データを処理してメモリに記憶する表面検査装置において、前記X移動機構に対して直角なY方向をなし、該ウエハのオリエンテーションフラットの長さの範囲内に配列された3個の光センサよりなる位置センサ部を設け、前記スピンドルに装着された前記検査済みのウエハを回転して、そのオリエンテーションフラットを該位置センサ部に停止し、該3個の光センサにより該OFのエッジを検出してY方向に正確に位置決めし、該位置決めされたウエハを該スピンドルにより回転して、該ウエハの外周の適当な3測定点を該位置センサ部に順次に停止し、該各測定点において、前記X移動機構により該ウエハをX方向に移動して、前記位置センサ部の中央の光センサにより該各測定点を検出し、それぞれのRθ座標値をメモリに記憶し、該記憶された各Rθ座標値より、前記スピンドルに装着されたウエハの回転中心O’のXY座標値を算出して、該ウエハの真の中心Oとの位置ズレ量(Δx,Δy)を求め、前記メモリに記憶されている異物データのXY座標値を補正することを特徴とする、ウエハの位置ズレ補正方法。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/26
, G06T 7/00
, H01L 21/66
, H01L 21/68
