特許

J-GLOBAL ID：200903047046664541

セラミック基板の立体的欠陥検査方法と装置

発明者： 杉村 利之 ,  山田 智章
出願人/特許権者： 株式会社住友金属セラミックス
代理人 (1件)： 吉村 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-024711
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213822
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 立体的欠陥の検出感度を向上させることにより、検出精度を向上させると同時に、その検査能率を向上させ得るようにした立体的欠陥検査方法と装置を提供する。【構成】 セラミック基板の検査面を斜光照明源で照明し、その反射光をカメラで撮影することで、該検査面の欠陥検査を行う立体的欠陥検査方法において、該カメラを該検査面に対して45°以下の傾斜する光軸上に配すると共に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射光を上記カメラで撮影して欠陥検査を行う構成よりなる。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の検査面を斜光照明源で照明し、その反射光をカメラで撮影することで、該検査面の欠陥検査を行う立体的欠陥検査方法において、該カメラを該検査面に対して45°以下の傾斜する光軸上に配すると共に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射光を上記カメラで撮影して欠陥検査を行うことを特徴とする立体的欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-017803
  
• 特開平3-007101
  
• 特開平2-029201