特許
J-GLOBAL ID:200903047050754350

部分イミド化感光性ポリアミド酸エステルの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-121619
公開番号(公開出願番号):特開平6-329795
出願日: 1993年05月24日
公開日(公表日): 1994年11月29日
要約:
【要約】【構成】 テトラカルボン酸二無水物及び/又はテトラカルボン酸誘導体と、ジアミン及び/又はジアミン誘導体とを50〜120°Cで反応し、アミド化重付加反応と脱水閉環イミド化反応を行い、得られた部分イミド化ポリアミド酸と、アクリル基又はメタクリル基を有するアルコール化合物及びメタノール、エタノール、プロピルアルコールとを併用し、カルボジイミド類の存在下、エステル付加反応させてなる部分イミド化感光性ポリアミド酸エステルの製造方法。【効果】 高感度でかつ硬化時の収縮が小さい感光性樹脂を再現よく合成することができ工業的に有用である。
請求項(抜粋):
テトラカルボン酸二無水物及び/又はテトラカルボン酸誘導体と、ジアミン及び/又はジアミン誘導体とを50〜120°Cで反応し、アミド化重付加反応と脱水閉環イミド化反応を行い、得られた部分イミド化ポリアミド酸と下記式(1)で示されるアルコール化合物をカルボジイミド類の存在下、エステル付加反応させることを特徴とする部分イミド化感光性ポリアミド酸エステルの製造方法。【化1】
IPC (6件):
C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

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