画像処理方法およびその装置並びに荷電粒子顕微鏡検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-144625
公開番号（公開出願番号）：特開2001-325595
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】不規則な輝度変化の含まれた二つの画像の差分画像から真の相違部分(真の欠陥部分)を誤抽出率をできるだけ低くして抽出処理を可能にした画像処理方法およびその装置並びに荷電粒子顕微鏡検査装置を提供する。【解決手段】本発明は、対象となる二つの画像の内、どちらか一方のみの画像を用いて不規則な輝度変化成分を抽出し、該成分の強度、発生割合を推定することにより、誤抽出の割合が指定割合以下となる2値化しきい値を算出する。

請求項（抜粋）：

二つの画像信号の内、いずれか一方の画像信号を基に、この画像信号に含まれる不規則な輝度変化による強度分布を作成する作成過程と、該作成過程で作成された不規則な輝度変化による強度分布を基に、不規則な輝度変化による誤抽出の発生する割合を、所望の割合以下とする2値化判定しきい値を設定する設定過程と、前記二つの画像信号について差分演算する差分演算過程と、該差分演算過程で差分演算された差分画像信号に対して、前記設定過程で設定された2値化判定しきい値を用いて前記二つの画像信号の相違部分を抽出処理する抽出処理過程とを有することを特徴とする画像処理方法。

IPC (4件)：

G06T 7/00 300 , G06T 7/00 , G06T 1/00 300 , H01J 37/22 502

FI (4件)：

G06T 7/00 300 G , G06T 7/00 T , G06T 1/00 300 , H01J 37/22 502 H

Fターム (17件)：

5B057AA03 , 5B057BA01 , 5B057BA24 , 5B057CE06 , 5B057CE12 , 5B057DA03 , 5B057DA08 , 5B057DC22 , 5B057DC33 , 5L096BA03 , 5L096CA24 , 5L096EA43 , 5L096FA37 , 5L096GA08 , 5L096GA51 , 5L096GA55 , 5L096HA07

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