三次元測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大浜博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097953
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307823
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】測定ヘッドの位置を変化させることなく被測定物の形状変化に的確に対応して検査できるようにする。【構成】レーザ光等の測定光Iを投光レンズ3を介して被測定物Cに照射する投光手段1と、前記被測定物Cからの反射光I′を受光レンズ4を介して受光する受光手段2とを有する測定ヘッドBを備え、該受光手段2への反射光I′の受光位置によって被測定物Cまでの距離を検出するように構成された三次元測定装置において、前記受光手段2への反射光I′の結像が適正であることを判定する判定手段71と、該判定手段71により適正結像と判定されるように前記投光手段1から照射される測定光Iの周波数を変化させる周波数変更手段72とを付設するようにしている。

請求項（抜粋）：

レーザ光等の測定光を投光レンズを介して被測定物に照射する投光手段と、前記被測定物からの反射光を受光レンズを介して受光する受光手段とを有する測定ヘッドを備え、該受光手段への反射光の受光位置によって被測定物までの距離を検出するように構成された三次元測定装置であって、前記受光手段への反射光の結像が適正であることを判定する判定手段と、該判定手段により適正結像と判定されるように前記投光手段から照射される測定光の周波数を変化させる周波数変更手段とが付設されていることを特徴とする三次元測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01C 3/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-171609
特開平4-337405
特開平2-171609

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