特許

J-GLOBAL ID：200903047052895555

高純度不透明石英ガラス及びその製造方法並びにその 用途

発明者： 加茂 賢治 ,  小野 幸一 ,  津久間 孝次 ,  長田 裕也 ,  阿部 恵美子 ,  菊池 義一 ,  船越 良晴
出願人/特許権者： 東ソー株式会社 ,  日本石英硝子株式会社
代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271667
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143329
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【構成】 平均径が20〜40μmの独立気泡を3 ×106 〜9 ×106 個/cm3 含有し、100 μm以上の径を有する独立気泡が全気泡中に占める割合が1 %以下であるとともに、厚さを1mm としたときの900nm の波長の光の直線透過率が5 %以下である高純度不透明石英ガラスは、平均粒子径が0.5 〜10μmで、かつLi、Na、K、Fe、Ti、Alからなる群から選ばれた少なくとも一個の不純物の含有量が各々1 ppm 以下である高純度アモルファスシリカ粉末を原料とし、成型した後、得られた成型体を1730〜1850°Cで焼成することにより得られる。【効果】 本発明の不透明石英ガラスは、微細な気泡を多量に含有するため、熱線遮断性に優れており、かつ純度が高いため、特に半導体製造分野で使用される各種の炉芯管、治具類及びベルジャー等の容器類、例えば、シリコンウェーハ処理用の炉芯管やそのフランジ部、断熱フィン、薬液精製筒及びシリコン溶解用ルツボ等の構成材料として好適である。また、蛍光体等の各種粉体を焼成する容器や、熱線反射板の分野においても使用することができる。

請求項（抜粋）：

平均径が20〜40μmの独立気泡を3 ×106 〜9 ×106 個/cm3 含有し、100 μm以上の径を有する独立気泡が全気泡中に占める割合が1 %以下であるとともに、厚さを1mm としたときの900nm の波長の光の直線透過率が5 %以下であることを特徴とする高純度不透明石英ガラス。

IPC (5件)：

C03C 11/00 ,  C03B 19/06 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/22 501

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 高純度不透明石英ガラスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-194700   出願人：日東化学工業株式会社
• 不透明石英ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229638   出願人：信越石英株式会社