特許
J-GLOBAL ID:200903047055035174

内容物充填容器の漏れ検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-098092
公開番号(公開出願番号):特開2005-283349
出願日: 2004年03月30日
公開日(公表日): 2005年10月13日
要約:
【課題】内容物充填容器の漏れを、極く微量な漏れも見落とすこと無く高い信頼度で検査する。【解決手段】チャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、その状態で、チャンバ内を所定の真空圧に減圧してその減圧状態を一定時間保持した後にチャンバ内に除塵脱臭空気を供給してチャンバ内を大気圧に戻し、その後にチャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記容器内の内容物の少なくとも1種のガス成分を検出するガスセンサによりチャンバ内空気中のセンサ検出成分量を測定する作業を3回繰り返し、1回目の成分量測定値よりも2回目の成分量測定値が高く、さらに前記2回目の成分量測定値よりも3回目の成分量測定値が高いときに漏れありと判定する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
チャンバ内に内容物充填容器を置いて前記チャンバを密閉し、 その状態で、前記チャンバ内を所定の真空圧に減圧してその減圧状態を一定時間保持した後に前記チャンバ内に除塵脱臭空気を供給して前記チャンバ内を一定圧にし、その後に前記チャンバ内への除塵脱臭空気の供給を停止して、前記容器内の内容物の少なくとも1種のガス成分を検出するガスセンサにより前記チャンバ内の空気中のセンサ検出成分量を測定する成分量測定作業を複数回繰り返し、 その少なくとも2回以上の成分量測定値を比較して、そのうちの前の回の成分量測定値よりも後の回の成分量測定値が高いときに前記容器を漏れありと判定することを特徴とする内容物充填容器の漏れ検査方法。
IPC (3件):
G01M3/00 ,  B65B57/02 ,  G01M3/32
FI (4件):
G01M3/00 H ,  G01M3/00 A ,  B65B57/02 F ,  G01M3/32 A
Fターム (12件):
2G067AA44 ,  2G067AA45 ,  2G067AA46 ,  2G067BB02 ,  2G067BB03 ,  2G067BB04 ,  2G067BB12 ,  2G067CC01 ,  2G067CC04 ,  2G067DD17 ,  2G067DD18 ,  2G067EE01
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)
  • 特開昭62-056831
  • 特開昭64-012240

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