特許

J-GLOBAL ID：200903047055053199

ポジ型レジスト組成物

発明者： 漢那 慎一 ,  水谷 一良 ,  佐々木 知也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  栗宇 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-249040
公開番号（公開出願番号）：特開2004-086020
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】160nm以下、具体的にはF2エキシマレーザー光(157nm)の光源使用時に十分な透過性を示し、且つアウトガス量の少ない優れたポジ型レジスト組成物を提供すること。【解決手段】(a)側鎖にフェニル基又はシクロヘキシル基を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解してアルカリ現像液への溶解性が増大する樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、及び(c)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(Z)で表される繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解してアルカリ現像液への溶解性が増大する樹脂、 (b)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、及び (c)溶剤 を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F7/039 ,  C08F12/22 ,  C08F16/00 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  C08F12/22 ,  C08F16/00 ,  H01L21/30 502R

Fターム (142件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  4J100AB01T ,  4J100AB02T ,  4J100AB03T ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AB07T ,  4J100AB08T ,  4J100AB09T ,  4J100AB10T ,  4J100AC22T ,  4J100AC25T ,  4J100AC26T ,  4J100AC37T ,  4J100AC53P ,  4J100AC53Q ,  4J100AC53T ,  4J100AD04P ,  4J100AE02T ,  4J100AE10T ,  4J100AE21P ,  4J100AE35P ,  4J100AE35T ,  4J100AE56T ,  4J100AG02T ,  4J100AG10T ,  4J100AG33T ,  4J100AJ01T ,  4J100AJ02S ,  4J100AJ03S ,  4J100AK32T ,  4J100AL02S ,  4J100AL02T ,  4J100AL03T ,  4J100AL04T ,  4J100AL08T ,  4J100AL09T ,  4J100AL10T ,  4J100AL11T ,  4J100AL14T ,  4J100AL16T ,  4J100AL24S ,  4J100AL26S ,  4J100AL44T ,  4J100AM01T ,  4J100AM03T ,  4J100AM07T ,  4J100AM15T ,  4J100AM17T ,  4J100AM19T ,  4J100AM21T ,  4J100AR04T ,  4J100AR11T ,  4J100AR32T ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA04T ,  4J100BA06Q ,  4J100BA12Q ,  4J100BA12R ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16T ,  4J100BA20P ,  4J100BA20T ,  4J100BA29T ,  4J100BA30T ,  4J100BA34T ,  4J100BA40Q ,  4J100BA40R ,  4J100BB01P ,  4J100BB01R ,  4J100BB01S ,  4J100BB01T ,  4J100BB03P ,  4J100BB03R ,  4J100BB03S ,  4J100BB03T ,  4J100BB05P ,  4J100BB05R ,  4J100BB05S ,  4J100BB05T ,  4J100BB07P ,  4J100BB07Q ,  4J100BB07R ,  4J100BB07S ,  4J100BB07T ,  4J100BB11P ,  4J100BB11Q ,  4J100BB11R ,  4J100BB11T ,  4J100BB17R ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18S ,  4J100BB18T ,  4J100BC01R ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC04T ,  4J100BC07T ,  4J100BC08T ,  4J100BC41Q ,  4J100BC41R ,  4J100BC41T ,  4J100BC43P ,  4J100BC43T ,  4J100BC49T ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53T ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38