特許
J-GLOBAL ID：200903047057471893
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123337
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308155
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 狭ピッチ化に対応し、位置合わせ容易であり、しかも電気特性が改善されたプローブカードを提供する。【構成】 本発明によれば、プローブ手段が、先端に接触子(8)を備えたフレキシブル基板から成るプローブ基板(4)を複数積層することにより構成される。そのため、狭ピッチ化に対応可能であり、組立時の位置合わせが容易となる。さらにまた、上記プローブ基板(4)が被検査基板(2)に接触する近傍までインピーダンス整合をとることができるので、プローブの電気特性が改善される。
請求項（抜粋）：
被検査基板の電極に電気的に接触し試験信号を送受するためのプローブ手段と、そのプローブ手段を前記被検査基板の電極に対して案内するとともに外部テスタと前記被検査基板の間にあって前記試験信号を送受するためのプローブカードとを備えたプローブ装置において、前記プローブ手段が複数のフレキシブル基板から構成され、前記各フレキシブル基板の一端には複数の前記測定用電極に電気的に接触する複数の接触子が設けられ、前記各フレキシブル基板にはその各接触子からその他端に至るまで前記試験信号を送受する信号線が配線され、前記フレキシブル基板の他端は前記信号線が前記プローブカードの対応する信号線に接続されるように前記プローブカードに接続固定され、複数の前記フレキシブル基板が、前記各接触子の先端の全てが略同一面に表れるように積層される、ことを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
G01R 1/06
, G01R 31/26
, H01L 21/66
