特許

J-GLOBAL ID：200903047058481671

内周刃切断機を用いたワーク切断方法

発明者： 田中 茂男 ,  宮田 昌幸 ,  田部 光夫 ,  浜村 雅彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-066342
公開番号（公開出願番号）：特開平7-276354
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】 内周刃切断機を用いたワーク切断方法にあって、既存の設備を用いて切断力を損なうことなく反りレベルを低減できるようにする。【構成】 内周刃5を用いてワーク1からウェハの切り出しを行うに際し、ワーク1から1枚のウェハの切り出しを終了する毎に微小な断面積を有するドレッシング材4の切り込みを行い、内周刃5のクリーニングを行って内周刃5の目詰まりを無くし、切断力の維持を図る。

請求項（抜粋）：

内周刃を用いてワークからウェハの切り出しを行うに際し、前記ワークから1枚のウェハの切り出しを終了する毎に微小な断面積を有するクリーニング用のドレッシング材の切断を行うことを特徴とする内周刃切断機を用いたワーク切断方法。

IPC (4件)：

B28D 5/02 ,  B24B 53/00 ,  H01L 21/304 311 ,  H01L 21/304