特許

J-GLOBAL ID：200903047066376127

処理液吐出ノズル、基板処理装置および処理液供給方法

発明者： 矢部 学
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195999
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033439
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】 吐出流量が少ない場合でも吐出流の乱れが生じることのない処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置並びに処理液供給方法を提供する。【解決手段】 処理液吐出ノズル5のノズル本体部5aの先端に吐出口可変部材10を配置する。吐出口可変部材10は、ノズル本体部5aの先端に挿入した円筒部材12の下部に中空環状部材13を挿入して形成される。円筒状部材12および中空環状部材13はゴム等の伸縮性材料からなる。中空部13a内が大気圧の場合、開口部15の径がノズル本体部5aの出口よりも小径となり、中空部13a内に空気が圧入されると、中空環状部材13が外方へ膨出し、開口部15の径がノズル本体部5aの出口の径にまで拡大される。

請求項（抜粋）：

処理液を通過させる液体通路を有する本体部の先端に、前記液体通路から導かれる処理液の通過領域の大きさを変化させる可変手段を設けたことを特徴とする処理液吐出ノズル。

IPC (4件)：

B05B 1/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  G03F 7/30 502

FI (5件)：

B05B 1/02 ,  H01L 21/304 341 N ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C